地質、鉱山、セメント、セラミックス、耐火物、ガラスなどのマトリックス中の主要元素、マイナー元素、微量元素を高精度で測定する分析は、かつてはWD-XRFスペクトロメーターが主体でした。
しかし、今日、科学、産業、ビジネスの分野で、この波長分散型蛍光X線分析装置に代わる有力な選択肢を手に入れることができました。これまでスクリーニング分析にしか使われていなかったエネルギー分散型蛍光X線分析装置（ED-XRF）が、WD-XRFに匹敵する精度を達成する可能性が出てきたのです。
本稿では、SPECTRO XEPOS ED-XRF 分析装置を用いた地質・鉱物試料中の主要元素およびマイナー元素の分析について紹介する。また、フューズドビーズによる試料前処理、偏光や直接励起などの技術により、マトリックス効果を低減し、感度、精度、安定性を向上させる利点について解説します。