蛍光X線分析（XRF）は、ガラスの元素組成を分析するための分析手法として広く用いられている。代表的な適用範囲は、周期表のF-Uまでの元素を対象としています。本レポートでは特に、エネルギー分散型XRF装置を用いた分析の性能について説明する。本レポートでは、ガラス中のフラインの分析に関して、SPECTRO XEPOSの感度と精度を検証しています。